110-QZ-LN-C63-EUV

DN63CF 316LN Sichtfenster, EUV Quarzglas

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Produktbeschreibung

DN63CF unmagnetisches Sichtfenster, Fused Sililca (Quarz) in EUV Qualität,
Material Corning HPFS 7980 Excimer Grade Fused Silica
Homogenitätsgrad A
Einschlussklasse 0
Paralellität < 10 Bogensekunden
Ebenheit λ/4@632nm
Politur 20/10 Scratch-Dig
Transmission >99,5%@193nm (intern)
Magnetische Permeabilität μ < 1.01
Sichtdurchmesser 68mm

Zusätzliche Information

Vakuum-Eignung

Flanschtyp

Flansch Name

Flanschmaterial

Flanschausführung

Min. Einsatztemperatur (°C)

Max. Einsatztemperatur (°C)

Magnetisch

Artikeltyp

Fensterdurchmesser (mm)

Fenstermaterial

Beschichtung

Wellenfrontverzerrung (TWD)

Polierung

Parallelität

Störstellen (Inclusions)

Homogenität

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